圆形质量块/柔性电极MEMS万向触发开关

摘要

针对现有MEMS惯性开关各向响应不一致和闭合时间短等问题,设计了一个采用周边弹簧支撑中心圆形质量块、柔性支撑固定电极结构形式的引信用MEMS万向触发开关.仿真结果表明,开关响应时间不大于300μs.由于采用圆形质量块,开关对0°～90°不同着角的冲击都能可靠响应；由于采用柔性电极,开关的闭合时间从小于10μs延长到30μs以上.