MEMS万向开关加工误差分析

摘要

为了研究加工误差对万向开关响应阈值的影响,推导出了惯性开关响应阈值的计算公式,带入设计参数值计算得到的结果为391 g,对样品开关的实际响应阈值进行了冲击台跌落试验,实验结果 220 g,误差-43.7%。对影响响应阈值的各项尺寸进行测量,其中S型悬臂梁的线宽B误差最明显,测量值26.4μm,小于设计许可值30μm,误差为-12%,由阈值公式,该误差引起的响应阈值误差高达-30%。最终得出结论,由于S型悬臂梁的线宽B尺寸较小,加工时容易产生较大误差,悬臂梁的刚度与线宽B的立方成正比,因此线宽B是影响开关响应阈值的主要因素。