测定表面织构薄膜厚度的X射线双级衍射法

摘要

本文利用薄膜或膜下基体晶面的一、二级X射线衍射消除织构因素。提出两种测定织构薄膜厚度的方法:薄膜线条法和基体线条法。推导出膜厚测定表达式d=sinθ_1/μLln(1/K)。给出其测量相对误差的极小值条件K=1/e,并实验验证了该方法适用。