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测定薄膜厚度的基片X射线衍射法

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基于 X射线衍射与吸收理论 ,建立了一种薄膜厚度测量方法 ,即基片多级衍射法 .利用 X射线衍射仪测量高速钢表面的 Ti N薄膜厚度 ,由于膜下基片的衍射强度较高及衍射峰形良好 ,可以确保薄膜厚度的测量精度 .

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来源
《上海交通大学学报》 |2004年第7期|1045-1047|共3页
作者
姜传海; 程凡雄; 吴建生;
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作者单位

上海交通大学材料科学与工程学院高温材料及高温测试教育部开放实验室;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类金属的分析试验（金属材料试验）;
关键词
薄膜材料; X射线衍射; 薄膜厚度;

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