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韩丰田; 吴秋平; 吴黎明; 董景新;
清华大学,精密仪器及机械学系,北京,100084;
硅微陀螺; 静电悬浮; 体硅工艺; 电容式位移检测; 可变电容式电机;
机译:使用UV-LIGA技术的静电悬浮微陀螺仪的设计和制造
机译:用于悬浮质量微陀螺悬浮硅微观结构的预埋掩模湿法蚀刻
机译:非理想因素对液体悬浮转子微陀螺仪电容率的影响
机译:静电悬浮转子微陀螺初始悬浮的虚拟样机仿真
机译:静电悬浮(ESL)和电磁悬浮(EML)基于Ni基单晶超合金质量蒸发的测量
机译:静电悬浮微机械自转转子陀螺仪偏置漂移的分析与补偿
机译:非理想因素对液悬浮转子微陀螺中电容介电常数的影响
机译:用JpL高温静电悬浮液测量熔融硅的热物理性质
机译:单晶硅微加工技术制造的微陀螺仪
机译:应用微波辐射技术和低电压电弧技术连续生产基于硅的可减少电耗的硅的工艺
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