一种基于外腔式法布里-珀罗干涉仪的光纤加速度计

摘要

研制了一种基于外腔式法布里-珀罗(F-P)干涉仪的光纤加速度计,理论分析了影响标度因数的结构参数,并利用有限元分析软件ANSYS对该结构进行仿真分析.F-P干涉仪由光纤端面和固定在弹性膜片上的反射镜组成,膜片上加工两圈花瓣状分布的弧形阵列.这种F-P干涉仪结构标度因数高、横向串扰小.经实验测定,该光纤加速度计标度因数为155.48 rad/g,与仿真分析结果基本吻合,交叉灵敏度仅为4.87× 10-2 rad/g,分辨率为100μg,零位稳定性为125μg,提出了进一步提高性能的方法.