精研一体机结合离子减薄仪制备透射电镜截面样品

摘要

透射电镜(TEM)截面样品的制备质量在TEM显微分析中十分重要.离子减薄是制备透射电镜截面样品的一种有效方法,而离子减薄前的预减薄过程是制备截面样品的关键基础步骤.传统的离子减薄预减薄过程极为复杂,使用的制样设备繁多.本文详细介绍了一种工艺简单、实用性强的制备截面样品的新方法,该方法主要采用精研一体机预减薄结合离子减薄仪终减薄截面样品,在简化了制样操作过程的同时,取代了传统的手工研磨样品,该方法能成功地制备出透射电镜截面样品.