对离子减薄制备纳米晶软磁合金透射电镜样品中的无颗粒区的研究

摘要

纳米晶软磁合金(Fe73.5Cu1Nb3Si13.5B9)的典型结构为两相:即大小为15nm的FeSi小晶粒相弥散分布于剩余非晶基体相中.在离子减薄制备的电镜样品中,孔的边缘往往有一些无颗粒区.我们用EDS研究了其化学成分,发现这些无颗粒区的成分不同于理论估计的非晶基体相的化学成分,也不同于材料原来的平均成分.其电子选区衍射(SAD)花样既和两相区的衍射花样不同,表现为d=0.27nm附近的一个非晶衍射环,也和制备态的非晶衍射环不同,说明这些非晶区可能是在样品的离子减薄过程中二次非晶化引起的.