衬底和薄膜的X射线强度比的蒙特卡罗模拟

摘要

本文介绍了利用蒙特卡罗方法模拟计算不同衬底上铝膜发射的特征X线强度与纯铝块状试样发射的X射线强度比I_c/I_B随加速电压E_o变化的曲线,当I_c/I_B→1时可得到E_d。以及直接摸拟计算不同衬底上铝膜试样的衬底发射x线强度与铝膜发射X线强度之比I_s/I_c随E_o的变化曲线,当I_s/I_c→0时可得到E＇_d。E_d和E＇_d具有相同的物理含意,将其代入Castain的X射线激发深度公式可以计算确定衬底上薄膜的厚度。对这两种方法比较的结果表明,采用后一种无标样法确定E_d具有更高的灵敏度,因而对膜厚的测定更为准确。