Mo（Co）6在清洁的和氧化的Si（111）表面上吸附的对比

摘要

cqvip:采用高分辨电子能量损失谱对比研究Mo（CO）6在清洁的、预吸附氧的和深度氧化的Si（111）表面上的吸附行为．吸附Mo（CO）6的C—O伸缩振动模式向低频方向移动，说明Mo（CO）6与清洁Si（111）和SiO2／Si（111）表面发生了不同的相互作用，前者较弱而后者较强．与Si02／Si（111）表面的强相互作用可能引起Mo（CO）6部分解离，形成部分分解的羰基钼物种．以Mo（CO）6为前驱体，能够成功地在Si02／Si（111）表面上沉积金属Mo，而在清洁Si（111）表面上则不能．在Si02／Si（111）表面E，加热使得喑B分沉积的金属Mo转化为M003，并最终在更高的温度下从表面脱附．理解TMo（CO）6在各种基底上的相互作用和吸附特性．同时也提供了一种简便的金属Mo修饰的氧化物模型表面的制备方法，且没有表面碳杂质的污染．