移相式泰曼格林干涉仪的实验与研究

摘要

本文深入研究了移相干涉术的原理和算法，研制了移相干涉术的相关键部件——PZT（piezoelectric Transducer)移相器。编制了整套通讯、图像采集、波面复原等一系列软件包，组合了光、机电、算相结合的，融硬、软件于一体的移相干涉术自动分析实验系统PSI(Phaseshifting Interfctometer移相干涉仪)，井作了高精度、自动、实时的实验研究；结果表明：PSI系统具有良好的系统重复性，实现了泰曼一格林干涉仪测量的高精度、自动、实时和定量，精度可达λ／50。