在线泰曼-格林成盘检测干涉仪测量装置和方法

摘要

本发明提出一种在线泰曼‑格林成盘检测干涉仪测量装置和方法，其特征在于，包括：激光器光源、扩束系统、起偏器、检偏器、两个1/4玻片、偏振分光棱镜、平面参考镜、待测成盘加工的球面镜片、球面标准镜、成像镜组和光电传感器CCD。其实现扩束后的平行光经过分光元件分成参考光和测试光，测试光经过标准镜汇聚成标准球面波且与待测镜片曲率中心重合，并原光路返回至干涉光路与参考光形成相干光束。此光路利用非对称的泰曼‑格林干涉光路来检测成盘镜片，其优点是结构紧凑，易于小型化，同时也契合大批量镜片检测的需求，使得检测过程更加简单、便利，实现球面镜片不下盘检测的问题。