泰曼-格林型静态便携式干涉仪的设计

摘要

基于经典泰曼一格林干涉理论提出了一种改进的干涉仪光路设计方案.与经典干涉理论对比,该方案具有共光路、结构紧凑、对环境因素不敏感、系统使用效率高等特点.通过对光学系统及标准平面的优化设计,其理论精度极值档(PV)<1/12λ(λ=632.8 nm).对具体的光学系统、微调机构组件进行了三维设计,对干涉仪进行了实际装配调整,并与Moiler像移式干涉仪做了比对测试实验,结果表明,该小型干涉仪的实际测量精度PV值<1/10λ.