氧空位对Ag/Nb:SrTiO3/Au双肖特基结阻变行为的影响

摘要

将0.5wt％ Nb:SrTiO3 (NSTO)单晶衬底在不同含氧量的气氛中进行退火处理,得到含有不同氧空位浓度的衬底表面.利用紫外光刻蚀技术和磁控溅射薄膜沉积技术在含不同氧空位浓度的NSTO表面沉积金属Ag和Au电极构成三明治的Ag/NSTO/Au结构器件,并进行电学性能和阻变性能测试表征.结果表明,通过调控氧空位的浓度,可以改变肖特基势垒宽度和高度,从而改善Ag/NSTO/Au器件的阻变性能.