45号钢低温抛光纳米加工试验研究

摘要

随着现代科学技术的发展,精密、超精密加工技术在机械制造领域越来越占有重要地位.由于45号钢在模具制造、半导体制造、超真空制造、金属反射镜等方面有着广泛的应用,本文采用冰盘抛光新技术,首次对45号钢材料试件进行了纳米抛光加工试验研究,给出了实际测量结果.通过分析与实验验证,得到了不同工艺参数对纳米抛光精度带来不同影响的规律;对冰盘抛光纳米加工进行了较为深入的分析与探讨.