半导体激光器材料的MBE生长

摘要

本文概述了我们最新引进的英国ＶＧ公司制造的Ｖ８０Ｈ型分子束外延（ＭＢＥ）设备的技术特点和性能，主要介绍了我们利用这套设备所进行了半导体激光器材料的生长研究工作。