多排热丝沉积大面积金刚石薄膜中热丝参数的影响

摘要

根据热丝化学气相沉积法制备大面积金刚石薄膜工艺与衬底之间的几何 该系统的热传递模型，利用计算机辅助数值解方法，给出了衬底温与衬底表面的热射能量密度随丝数量，热丝与衬底间距变化的关系。并利用该方法设计了沉积面积为１００ｍｍ＊１００ｍｍ的金刚最佳热丝几何参数。