热丝距离对钛合金表面金刚石薄膜沉积的影响

摘要

采用热丝化学气相沉积法(HFCVD)在钛合金(Ti6A14V)表面沉积金刚石薄膜,研究热丝距离对所得金刚石薄膜样品的物相组成、表面形貌和附着性能的影响.利用扫描电镜(SEM)、激光拉曼光谱(Raman)和维氏硬度仪分析了薄膜的形貌、结构、成分和附着性能.结果表明:金刚石的形核密度随着热丝距离的增加而减小,合适的热丝距离对金刚石膜的生长有重要影响.