一种热丝组件及金刚石薄膜沉积设备及其控制系统

摘要

本发明属于铣刀镀膜设备技术领域，公开了一种热丝组件及金刚石薄膜沉积设备及其控制系统，底座上侧通过螺栓固定有外壳，外壳左侧嵌装有透镜，外壳右侧通过螺栓固定有温度传感器、压力传感器和控制器；外壳上侧通过螺栓固定有上盖体，上盖体上侧通过螺栓固定有气体混合室；上盖体下侧通过螺栓固定有电动伸缩杆，电动伸缩杆通过螺栓与喷气盘连接；底座上侧通过支撑柱与固定台连接，固定台通过螺栓固定有支撑杆；支撑杆上通过双层齿轨与铣刀放置移动架连接，支撑杆上端通过螺栓固定有热丝组件。本发明通过设置有透镜，可以对外壳内部进行观察。本发明可以根据铣刀镀膜的需要，对相应的部件进行调整，提高铣刀镀膜的质量。