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黄天斌; 刘敬明; 唐伟忠; 佟玉梅; 于文秀; 吕反修;
北京科技大学材料科学与工程学院;
大面积金刚石膜; 热应力; 数值计算; 沉积过程;
机译:通过热丝化学气相沉积法将微晶金刚石合成为超纳米晶金刚石膜并进行表征,以扩展至大面积应用
机译:用于大面积金刚石膜沉积的多模腔型MPACVD反应器
机译:Ti夹层Mo衬底上金刚石膜沉积中热应力的有限元分析
机译:用于大面积金刚石膜沉积的热丝CVD反应器中的多丝阵列和衬底支架的设计
机译:离子液体表面上的大面积八乙基卟啉金属大面积自支撑膜的直接物理气相沉积和柔性光电性能
机译:射频电感耦合等离子体在金刚石状碳膜的化学气相沉积过程中的应用,用于改性沉积膜的性能
机译:涂层沉积过程中基板的热应力和热应力分析
机译:几乎没有热应力引起的裂纹的化学气相沉积(CVD)金刚石膜的生产方法
机译:大面积沉积类金刚石碳膜的方法
机译:掺杂阳极同轴的单元电解金刚石,其通过在机械上抗腐蚀的底材上沉积膜而形成,该膜在水溶液中的提纯过程中具有机械抗性。
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