无限层薄膜(Sr,Ca)CuO_2的相分析

摘要

采用脉冲激光沉积（PLD）方法在400～670℃和7～70Pa氧压下制备了（Sr，Ca）CuO2无限层薄膜．通过薄膜的X光衍射（XRD）测量来进行薄膜的相分析．A2CuO3＋δ（A代表Sr，Ca）相在SrTiO3，LaAlO3，CaNdAlO4和MgO衬底上在400～600℃极易生成，而无限层ACuO2＋δ相只能在高于470℃和相配的SrTiO3和LaAlO3；衬底上生成．在SrTiO3衬底上当温度高于600℃时，A2CuO3＋δ相开始消失，出现了一个新的正交的绝缘相．