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PECVD技术制备碳纳米管的研究

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摘要

碳纳米管的制备方法有电弧法、激光蒸发法、化学气相沉积法(CVD法)、火焰法、水热法和模板法等.主要介绍了等离子体化学气相沉积法制备碳纳米管,并对此方法制备的碳纳米管形貌进行了表征,最终优化出最佳的实验工艺.

著录项

来源
《江西科学》 |2013年第2期|140-142|共3页
作者
席彩萍;
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作者单位

渭南师范学院物理与电气工程学院,陕西渭南714000;

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正文语种 chi
中图分类薄膜物理学;
关键词
碳纳米管; PECVD; 催化剂;

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