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机译:PECVD SiNx薄膜的热诱导损伤
机译:PECVD中气体流速下SiNx薄膜特性的研究
机译:等离子增强化学气相沉积(PECVD)系统的设计和实现,该系统用于研究碳60聚合物复合薄膜和表面功能化对碳60的影响
机译:使用超薄Pt催化剂通过PECVD在GaN LED外延片上生长类似于石墨烯的无转移薄膜用于透明电极应用
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