亚像素边缘提取方法在半导体芯片定位中的应用

摘要

边缘提取是实现芯片定位的重要环节,为适应高精度的定位要求,提出一种粗精结合的亚像素边缘提取的方法。首先计算图像的形态学梯度,获得边缘的像素级位置,然后根据边缘附近像素灰度值的单调性筛选出有用的特征点,再利用最小二乘法将特征点像素值拟合为高斯曲线,曲线的中点即为亚像素位置。最后通过实验测得该方法的检测误差为0.2像素,并具有较好的稳定性。