微波MEMS开关技术研究

摘要

微波MEMS开关是MEMS技术的一个分支，也是二十世纪九十年代以来MEMS领域的研究热点。微波MEMS开关是工作在射频到毫米波频率下的微机械开关，其可动部件是利用微加工技术得到的，具有低损耗、微功耗和线性度好等优点，很适合用在微波系统中。本文介绍了微波MEMS开关的基本工作原理、结构设计与工艺制作的要点以及实验结果。微波MEMS开关样品测试的技术指标为：膜桥高度2—3岬，驱动电压〈30V，频率范围0—40GHZ，插入损耗≤1dB，隔离度≥20dB，样品参数性能达到了设计要求。