一种MEMS惯性测量单元的设计与实现

摘要

MEMS惯性测量单元（MIMU）具有微型化、可集成化、智能化、低功耗、低成本、高可靠性、易批量生产等一系列优点。针对常规制导弹药的需求，以MEMS陀螺仪、加速度计惯性传感器为基础，设计了一种MEMS惯性测量单元并进行了高过载的建模与仿真分析，验证样品分别采用机械冲击与空气试验、性能满足需求，与仿真结果相吻合。