一种模态局部化压力传感器的设计与仿真

摘要

为了进一步改善谐振式压力传感器的灵敏度,将模态局部化敏感机理应用于谐振式压力传感器,提出了一种基于二自由度谐振器的模态局部化压力传感器。对传感器的敏感膜片和二自由度谐振器进行了理论分析,利用COMSOL有限元软件对传感器的静态载荷和模态振型进行了仿真分析,得到了传感器的压力响应。仿真结果表明,基于幅值比输出的灵敏度为频率输出的473.6倍。