厚膜电阻压力传感器

摘要

本文介绍一种厚膜电阻压力传感器，该传感器只需通过改变膜片的厚度和直径，就可检测１０Ｐａ－６０ＭＰａ的压力。焊接在膜片上的厚膜应变片构成惠斯登电桥，能够抑制失调电压和温度的影响。精度达到１％Ｆ·Ｓ，温漂小于０．０１ＫＦ·Ｓ，足以满足很多工业电气方面的应用。