适合于液相检测的乐甫波传感器

摘要

乐甫波(Love wave)是声表面波的一种,它是在沉淀于压电基片表面的薄层声波导中传播的表面剪切横波.论述了基片为ST切压电石英晶体、声波导层分别为聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)和熔融石英(SiO2)的乐甫波器件的制作.通过测量器件的传输参数S21和插损,比较了瑞利波器件和不同声波导层构成的乐甫波器件在气相和液相的特性,证明了乐甫波传感器适合于液相检测而瑞利波传感器不适合,而且,SiO2是构成乐甫波器件声波导层的更合适的材料.