低损耗乐甫波传感器的实验研究

摘要

文中采用单相单向叉指换能器（SPUDT）降低乐甫波传感器的双向损耗，并从实验方面研究了SPUDT结构反射中心位置对器件损耗的影响。乐甫波传感器的多层波导结构改变了常规的EWC／SPUDT（控制栅条宽度的SPUDT）的反射系数和换能系数，不能实现完全的单向传播，从而使传感器损耗变大。文中通过调整反射栅的位置，来改变反射中心和换能中心的间距L，通过实验的方法分析L对损耗的影响，得到了间距￡与器件损耗之间的关系。文中实验基片采用ST一90°X石英，铝电极厚度为0．77％A（A为SPUDT周期），声波导材料为二氧化硅，厚度为0．0128A，L大小范围为（3／8—1／9）λ到（3／8＋1／9）λ，实验结果表明：随着反射中心和换能中心间距￡的增大，器件中心频率处的损耗从20．2dB减小到12．5dB；器件的单向性能得到改善。