利用有限元分析工具优化设计微气体传感器结构

张彤; 李春明; 刘丽; 徐宝琨

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利用有限元分析工具优化设计微气体传感器结构

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利用金属铂的热阻、热敏特性以及SiO2、SiNx良好的绝热绝缘特性,设计一种以金属铂薄层为加热器,叉指状金薄层为信号电极,SiO2和SiNx为隔热和电绝缘层的硅基微结构气敏元件.利用有限元分析工具ANSYS,对该硅基微结构气敏元件的加热衬底的温度场进行模拟和分析,根据分析的结果对所设计的气敏元件优化,优化后的气敏元件热损耗将更小,响应速度将更快.

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来源
《仪表技术与传感器》 |2005年第2期|4-6|共3页
作者
张彤; 李春明; 刘丽; 徐宝琨;
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作者单位

吉林大学电子科学与工程学院,吉林,长春,130012;

吉林大学电子科学与工程学院,吉林,长春,130012;

吉林大学电子科学与工程学院,吉林,长春,130012;

吉林大学电子科学与工程学院,吉林,长春,130012;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TP212;
关键词
微热板; 有限元分析; ANSYS; 温度场; 响应速度;

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