一种微压传感器梁膜结构优化设计方法

摘要

本发明公开了一种微压传感器梁膜结构优化设计方法，旨在为高灵敏度、大量程的新型微压传感器的梁膜构型提供高效设计工具。本方法直接从通用压力传感器梁膜结构出发，构建基于拓扑优化的设计迭代过程，通过校核额定载荷下梁膜结构的最大挠度，更新拓扑优化模型中的体积约束条件，实现满足挠度设计要求前提下梁膜结构应力响应最大化。与常规方法比较，本方法无需提出梁膜结构的初始构型，整个优化过程基于现有有限元分析软件平台展开，大幅降低了对设计者工程经验、专业技能等方面的要求，具有优良的工程实用性。