基于微波谐振腔的湿度传感器

摘要

构建了含水混合物介电特性模型,设计了基于此模型的开路同轴谐振腔传感器,并指出影响其传感特性的两个主要参数是保护盖介电常数和空载谐振频率.鉴于此,针对保护盖材料及空载谐振频率对传感器传感特性的影响进行了全面分析和仿真.加工了具有不同谐振频率的微波谐振腔及不同材料的端口保护盖.实验结果表明,该模型能够很好地指导传感器的设计,同时选取Al2O3作为保护盖材料及具有空载谐振频率为2.5G Hz的谐振腔,具有较好的测量效果.