高精度电容式位移传感器关键技术的研究

摘要

研制了一种高精度电容式位移传感器,详细介绍了该传感器的基本工作原理和提高传感器精度的关键技术,对电容传感器的具体电路进行模块化设计;分析影响传感器精度与稳定性的因素,采用完全等电位屏蔽技术,对正弦激励电路、参考电容、传感器测头、电源进行技术改进,最后对电容传感器进行系统标定.实验证明:该传感器测量范围为±5-±40 μm,测量分辨率《10 nm,测量精度《20 nm.