Исследование прецизионного многосекционного емкостного датчика угловых перемещений (ЕДУ)

摘要

Описаны конструктивные, схемные и технологические особенности многосекционного емкостного датчика угловых перемещений, созданного с использованием современной тонкопленочной технологии. Приведена методика исследования метрологических характеристик, а также сами характеристики и их анализ.