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第1章 绪论
1.1 概述
1.2 国内外衍射光栅干涉测量系统的研究现状及趋势
1.2.1 一次衍射光干涉测量系统
1.2.2 二次衍射光干涉测量系统
1.2.3 三光栅测量系统
1.2.4 反射式衍射光栅干涉测量系统研究的趋势
1.3 课题来源,研究内容和意义
第2章 计量光栅测量应用特性分析
2.1 机床用光栅的制造简述
2.2 光栅衍射次数和级数特性分析
2.3 计量光栅的衍射效率特性分析
2.3.1 低线数光栅的衍射效率特性分析
2.3.2 光栅栅形对衍射效率的影响
2.3.3 表面粗糙度对光栅衍射效率的影响
2.3.4 高线数光栅的衍射效率特性分析
2.3.5 耦合波方法
2.3.6 高线数光栅衍射效率特性的数值分析
2.4 光栅干涉测量系统干涉光强分布
2.5 本章小结
第3章 衍射光栅干涉位移传感器原理和设计
3.1 衍射光栅干涉位移传感器测量原理
3.2 光栅干涉测量系统的设计
3.2.1 琼斯矩阵法分析
3.3 元件的选择
3.3.1 光源的选择
3.3.2 光栅的选择
3.3.3 光学镜组元件选择
3.3.4 单倍望远镜系统原理
3.3.5 光电探测器的选择
3.3.6 光学零件粘接
3.4 光学元件机械夹持结构的设计
3.4.1 激光器底座
3.4.2 反射镜底座
3.4.3 一体式夹紧机构设计
3.5 本章小结
第4章 光栅信号的误差分析与修正
4.1 测量系统的误差源分析
4.1.1 光源误差分析
4.1.2 光栅误差分析
4.1.3 电路误差分析
4.1.4 环境误差影响分析
4.2 光栅副相互位置偏差对信号的影响分析及实验
4.2.1 软件仿真光路
4.2.2 理论分析光栅副相互位置偏差对干涉条纹质量的影响
4.2.3 干涉条纹仿真分析
4.2.4 误差分析
4.2.5 光栅俯仰误差实验测试
4.3 本章总结
第5章 衍射光栅测量系统实验及精度研究
5.1 测量信号高精度处理方法研究
5.2 电路设计
5.3 信号细分技术和数据采集
5.3.1 细分方法
5.3.2 辨向和计数方法
5.4 电路测试装置
5.5 性能测试实验
5.5.1 位移测量实验
5.5.2 小步距和长行程实验
5.5.3 稳定度实验
5.5.4 高频噪声测试实验
5.6 本章小结
第6章 总结与展望
6.1 本论文主要工作总结
6.2 研究工作展望
参考文献
攻读博士学位期间发表论文、专利与获奖
合肥工业大学;