NiC/NiSi薄膜热电偶传感器的研制及有限元模拟

摘要

采用磁控溅射法,在刀具材料为w18Cr4V高速钢的后刀面上镀制了NjCr/Nisi薄膜热电偶.传感器既能满足切削要求,同时又能够快速采集温度信号,并对其进行了静态和动态标定,实验范围内线性误差为O.56%,时间常数为12.7 ms,响应迅速,满足实验要求.最后用ANSYS对传感器的瞬态响应和温度场分布进行了有限元仿真.并通过实验进行了验证.