化爆材料瞬态切削温度的薄膜热电偶温度传感器研制

摘要

针对化爆材料的切削特点,研制出一种将切削和测温功能于一体的NiCr/NiSi薄膜热电偶快速响应温度传感器.用多弧离子镀将NiCr/NiSi热电偶薄膜直接镀于高速钢刀头内.薄膜热电偶电极与高速钢之间采用最先进的多层镀膜法绝缘,即用微波ECR等离子体源增强射频反应非平衡磁控溅射技术首次成功在W18Cr4V高速钢基底上沉积绝缘性能良好的SiO2膜.研制的薄膜热电偶在0～600℃测温范围内具有很好的线性和热稳定性,而且响应快,时间常数小于0.8ms.该温度传感器已安装在现场使用,为国防工业部门的高效、安全生产提供了有力的保障.