基于新型MEMS三轴加速度传感器的矿震监测系统

摘要

微机电系统是指融合了硅微加工，光刻成型和精度机械加工等多种微加工技术制作的微传感器、微执行器和微系统。MMA7260Q是飞思卡尔推出的一款微型电容式三轴加速度传感器，内部采用了信号调理、誊板低通滤波器和温度补偿技术，可以采集震动产生的加速度在三坐标中的各个分量。三轴加速度传感器MMA7260Q与嵌八式计算机组成测量节点，各节点由CAN总线组成分布式检测网络，完成矿震的监测、震源的定位和趋势分析。使监测灵敏度、定位精度、传感器可靠性有了很大的提高。