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鲍海飞; 李昕欣; 宋朝辉; 张鲲; 刘民; 陆德仁;
中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室;
高量程微加速度传感器; 横向响应; 波形比较法; 自由落杆; 微机电系统;
机译:横向压缩应变下碳纳米管复合膜的压阻响应
机译:压缩和拉伸作用下集成CNT纱线的压阻响应:横向约束的影响
机译:颗粒金属的纵向和横向压阻响应-艺术没有。 064201
机译:压阻式加速度传感器具有高灵敏度和高响应性
机译:开发了一种完全集成的微机械压阻式加速度传感器/振动传感器,带有集成的空气阻尼器,用于状态监测。
机译:高冲击应用的高重力压阻加速度传感器的设计与应用
机译:压阻式压力传感器的纵向和横向压阻系数的机械推导
机译:批量微机械加工6H-siC高g压阻式加速度计制造和测试
机译:制造桥式结构的方法和制造具有相同方法的压阻加速度传感器的压阻加速度传感器的方法
机译:通过使用相同的制造具有桥式压阻器的压阻加速度传感器的桥式结构和方法的制造方法
机译:压阻式微机械传感器组件,例如加速度传感器在弯曲托梁的顶面和底面提供压阻掺杂区,并在相对侧将其布置在基板和地震质量之间
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