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黄全平; 陆德仁;
中国科学院上海微系统与信息技术研究所;
静态特性; 压阻式加速度计; 薄板;
机译:压阻式微加速度计的超量程容量
机译:基于Timoshenko波束理论的高G MEMS压阻式加速度计的最优设计
机译:高冲击硅加速度计,带有悬挂式压阻传感桥
机译:一种新型铰接微机械高G压阻式加速度计
机译:用于生物医学应用的封装式亚毫米压阻式加速度计。
机译:基于MEMS的压阻式加速度计用于头部损伤监测的机械结构设计:通过传感器惯性质量矩增量的计算分析
机译:用于压阻式加速度计的机械隔离器的高冲击,高频特性,ENDEVCO 7270am6 *
机译:批量微机械加工6H-siC高g压阻式加速度计制造和测试
机译:用相同的桥式压电电阻带压阻式加速度计传感器的桥式结构和制造方法的制造方法
机译:压阻式加速度计和系统,包括相同的
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