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刘付德;
无;
AIN薄膜; 磁控溅射; 低温生长;
机译:磁控溅射在低温沉积的AIN衬底上外延生长ZnO薄膜
机译:反应磁控溅射在Si(100)和Si(111)衬底上生长AIN膜
机译:在标称和离轴Si(001)衬底上生长的六角AIN膜
机译:超薄Pt层对AIN膜择优取向的影响
机译:交流磁控溅射在低温下沉积的生物相容性氧化铝膜的性能。
机译:低温下大功率脉冲磁控溅射在铀上沉积的TiN膜
机译:射频磁控溅射在γ-LiAlO2上低温生长c轴取向AlN薄膜
机译:由VICTOR maNUFaCTURING和GasKET CO制造的轴尺寸,油,平面或平面的性能测试,包括0.875,2.625和3.50英寸的轴。
机译:平面磁控溅射装置及平面磁控溅射膜沉积方法
机译:可以切换两种磁通分布模式(平衡模式/非平衡模式)的磁控溅射设备,使用该设备和双模式磁控溅射设备形成无机成膜材料的膜的成膜方法,以及使用该装置在低温下形成膜的无机成膜材料的成膜方法
机译:沉积包含AIN的压电膜的方法以及包含AIN的压电膜
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