空间分辨率对半导体器件光学测温结果的影响

翟玉卫; 梁法国; 刘岩; 郑世棋

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空间分辨率对半导体器件光学测温结果的影响

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从空间分辨率的定义出发,指出物镜的数值孔径和光的波长是决定光学仪器空间分辨率的主要因素.给出了空间分辨率影响半导体器件结温检测结果准确度的原理.对GaN HEMT进行了不同空间分辨率下的显微红外温度检测,较低空间分辨率下的测温结果低于高空间分辨率下的测温结果,证明空间分辨率的不足会导致温度测量结果偏低.

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来源
《红外》 |2016年第11期|36-41|共6页
作者
翟玉卫; 梁法国; 刘岩; 郑世棋;
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作者单位

中国电子科技集团公司第十三研究所,石家庄050051;

中国电子科技集团公司第十三研究所,石家庄050051;

中国电子科技集团公司第十三研究所,石家庄050051;

中国电子科技集团公司第十三研究所,石家庄050051;

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正文语种 chi
中图分类材料;
关键词
空间分辨率; 数值孔径; 温度检测; 半导体器件;

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