多层样品的PTR理论及其埋层厚度的非接触测量

摘要

从理论上推导了一般情况下多层样品PTR信号的解析式,分析了光学不透明三层样品。用推导的振幅和位相表达式拟合三层样品的实验数据,并计算出中间层的厚度。