对不同结构样品进行识别的PTR算法研究及其应用

摘要

阐述了４种模式识别方法，在样品平面投影，典型样品分析和这几种模式识别方法的基础上，提出了对不同结构样品进行识别的ＰＴＲ方法。文中还给出了两个应用实例，结果表明，ＰＴＲ方法的效果较好。