1.3μm波长金属膜波导偏振器的研制

摘要

文章针对Ti扩散LiNbO3波导1.3μm波长偏振器的制作,论述了单模TE波传输的波导偏振器的器件结构设计,理论分析及制作方法。采用的优化结构MgO/Al覆盖波导偏振器其TM波的消光比达40dB以上,TE波附加损耗＜1dB,器件综合消光比＞35dB,结果与理论计算相近。