一种芯片电容高精度批量测试设备设计

摘要

芯片封装与测试工艺中,需对芯片电容进行测量完成合格性筛选,国内厂家目前多采用人工测试或购买国外的昂贵的电容测试设备。从应用角度出发,设计了批量自动化电容测量设备。该设备采用多路位置传感器与步进电机组成闭环控制系统,并加入安全控制与告警机制。试验表明该系统可实现芯片卷带自动、安全、可靠测试。