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陈光;
无;
电容式; 加速度计; 惯性传感器; 表面微加工;
机译:与3D CMOS兼容的表面微加工工艺中的平面内高灵敏度电容式加速度计
机译:用于力反馈微加工电容式加速度计的sigma-delta接口ASIC
机译:Epi-SOI表面微加工的电容式压力和惯性传感器
机译:电容式CMOS-MEMS惯性传感器的传感和控制电子设计。
机译:电容式微加工超声换能器的全差分折叠式共源共栅前端接收器放大器集成电路
机译:利用边缘电场的表面微加工聚合物电容式加速度计阵列
机译:用于燃气轮机应用的表面微加工碳化硅加速度计
机译:微加工电容式横向加速度计装置和具有该装置的整体式三轴加速度计
机译:微加工电容式侧向加速度计和单相,三轴加速度计具有相同的功能
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