氦质谱检漏仪的灵敏度

摘要

叙述了影响氦质谱检漏仪灵敏度的相关因素，对不同工况条件下，如何提高检漏灵敏度进行系统分析．并结合实际工作经验，提出了几种常用的氦质谱检漏方法。