金刚石薄膜L沉积：工业性金刚石薄膜沉积...

摘要

由于金刚石的力学性能、电学性质、光学性质、化学性质和热学性质受到广泛的重视,它的应用范围包括从机械零件和光学元件的耐磨涂层到先进的半导体器件材料。最近在许多不同材料上可以气相沉积金刚石薄膜,这种涂覆技术的进展更激起了大家的兴趣。具有各种形态和不同物理性质的金刚石薄膜已经在几个研究室研究成功。在某些情况下已经确立了生产金刚石涂层零件的技术可行性。虽然工业性金刚石薄膜技术在市场上仍处于初创阶段,但是它在很快发展。在新技术的潜力变成现实之前,还有许多工作要做:搞清薄膜到底是什么?它们如何形成和长大?它们如何重复再生?在经济可行的情况下如何完成涂覆零件的沉积技术。